【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0122
利用課題名 / Title
液晶ポリマー製フレキシブル基板を用いた神経電極開発プロセスの研究 / Research on the process of developing neural electrodes using flexible
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials
キーワード / Keywords
神経電極, パリレン,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,MEMSデバイス,生体イメージング
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石川 泰地
所属名 / Affiliation
東北大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
FPC上に製膜したパリレンのエッチングを行うため、東北大学試作コインランドリのプラズマクリーナーを使用した。
実験 / Experimental
パリレン上にAlマスクを作製したサンプルを用意し、プラズマクリーナーにいれ、処理を実施した。
【加工条件】
RF：200 W
O2流量：60 ml/min
エッチング時間30分
結果と考察 / Results and Discussion
Alマスクを使用してパリレンエッチングを行うことで、パリレンのパターニングを実施した。結果として30分間のエッチングにより、パリレンの除去が確認できた。しかし除去したい部分以外のパリレンにピンホールが確認できた。おそらくAlマスクに同様のピンホールが空いていたためと考察している。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig 1. パリレンエッチング後のFPC
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件