【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0116
利用課題名 / Title
マイクロナノ構造の機能研究
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
構造情報の生成,光シミュレーション,リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,ナノフォトニクスデバイス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
有馬 光雄
所属名 / Affiliation
デクセリアルズ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
微細構造の形成による光機能デバイスの基礎的検証のために、東北大学の設備を利用して構造形成と表面構造の分析評価を行った。
実験 / Experimental
レーザ描画（DWL2000CE）による特殊な構造情報のパターン形成面を共焦点レーザ走査型顕微鏡（OPTELICS HYBRID LS-SD）を用いて分析評価を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
数種の構造情報の改良、およびレーザ露光のパターン形成の実験試作の結果、光機能の原初的な発現を確認検証した。
下記に共焦点レーザ走査型顕微鏡（OPTELICS HYBRID LS-SD）による表面分析の結果を示す。
Fig. 1は改良前のパターン形成状態、Fig2には改良後のパターン形成状態である。
今後はデバイス技術の開発調査および分析を予定する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 改良前の表断面像
Fig. 2 改良後の表断面像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
参考資料：『グレースケール露光の概要と応用例』，東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 戸津健太郎
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件