【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0109
利用課題名 / Title
MEMS device technology development
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
Sensor,Magnetic thin film,スパッタリング/Sputtering,成形/Molding,リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,アクチュエーター/ Actuator,高周波デバイス/ High frequency device,MEMSデバイス/ MEMS device,IoTセンサ/ IoT sensor
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
Froemel Joerg
所属名 / Affiliation
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
佐々木 寛充
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-216：Vapor HFエッチング装置
TU-059：スプレー現像装置
TU-201：DeepRIE装置#1
TU-160：自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型）
TU-158：芝浦スパッタ装置（加熱型）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
The sputtering and structuring of magnetic thin films for flexible sensors was studied. The processes were optimized to achieve high sensor effect.
実験 / Experimental
Experiments to sputter soft magnetic thin films (FeCuNbSiB) with different conditions were performed. The properties of the films were studied and sputtering conditions optimized. A lift-off process to structure thick films (>1um) was done and tested. Substrates with a laminated PI film were prepared. On the PI film the magnetic films were sputtered and structured. After removing the PI film from the substrates a flexible bended sensor prototype was made and measured. (Fig. 1)
結果と考察 / Results and Discussion
It was successfully shown, that sensors can be made on flexible PI with sputtered magnetic metallic film. (Fig. 2)
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1: flexible PI film with magnetic layers of FeCuNbSiB
Fig. 2: Sensor prototype
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- J. Froemel, G. Diguet, Y. Guo, Bendable and stretchable sensor for wearable system, Smart Systems Integration 2023, Brugges, Belgium, March 28-30 2023
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件