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スプレー現像装置

    スプレー現像装置
    スプレー現像装置
機器ID TU-059
分類 リソグラフィ > レジスト処理装置
表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 スプレー現像装置 (Spray developer)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 アクテス (Actes)
型番 ADE-3000S
キーワード 現像液とリンス(水)をノズルから噴霧
仕様・特徴 サンプルサイズ:3~6インチ
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