【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.09】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22RO0038
利用課題名 / Title
ホウ素中性子捕捉療法（BNCT）のための中性子イメージセンサの研究
利用した実施機関 / Support Institute
広島大学 / Hiroshima Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィ/Lithography,IoTセンサ/ IoT sensor
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
谷口 学
所属名 / Affiliation
広島大学大学院先進理工系科学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
山田真司
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
耐放射線の高いSiCを用いたイメージセンサ画素素子をベースとして、BNCTの治療経過をイメージングする中性子イメージセンサを開発した。
実験 / Experimental
マスクレス露光装置（RO-113）を用いてパターン形成を行い、RIEを用いてSiCのエッチングレートの条件出しを行った。
結果と考察 / Results and Discussion
RIEを用いたSiCの深堀エッチングはネガ型レジストであるSU-8にマスクレス露光装置（RO-113）を用いてパターン形成を行い、BJT型中性子イメージセンサ作製のための条件出しを行った。その結果、SiCを約3 µmエッチングした際にマスクであるSU-8の剥がれを確認したことから、SiC深堀エッチングを行うには複数回のエッチングプロセスが必要だとわかった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件