【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0265
利用課題名 / Title
ガリウムの結晶性制御
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
熱処理，形状・形態観察，結晶性評価
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
近藤 敏彰
所属名 / Affiliation
愛知工科大学工学部機械システム工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
日陰 達夫,林 育生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-203：薄膜X線回折装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
アノード酸化プロセスにより作製したポーラス酸化ガリウムの結晶性を薄膜X線回折装置により調査した。
実験 / Experimental
ガリウム板をアノード酸化することでポーラス酸化ガリウムを得た。サンプルのガリウム部分を選択的に溶解除去することでポーラス酸化ガリウムメンブレンを得た。得られたサンプルの幾何学形状はSEMを用いて観察した。ポーラス酸化ガリウムメンブレンの結晶性は，薄膜X線回折装置（NU-203）を用いて評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1にはアノード酸化により形成されたポーラス酸化ガリウムの代表的なSEM観察像を示す。ナノ細孔配列の形成が観察された。ナノ細孔の直径は180nmであった。Fig.2には，ポーラス酸化ガリウムのXRD測定結果を示す。ポーラス酸化ガリウムメンブレンをスライドガラス上に配置し，XRD測定を行った。ポーラス酸化ガリウムの結晶に由来するピークは観察されず，作製したポーラス酸化ガリウムはアモルファスであることが明らかとなった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 SEM image of a porous Ga oxide
Fig. 2 XRD spectrum of porous Ga oxide
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・基盤研究C 「アノード酸化プロセスによる複合アニオン化合物の創生」
・日陰達夫様，林育生様（名大ARIM）に感謝します。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- (1) 近藤敏彰, “ガリウムのアノード酸化挙動”表面技術協会第149回講演大会, A-60，令和5年3月8日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件