設置機関：東京大学 UT-105 高分解能走査型分析電子顕微鏡 設置機関：京都大学 KT-121 マスクレス露光装置 KT-122 二光子重合式３Dプリンター 設置機関：東北大学 TU-521 プラズマ集束イオンビーム加工装置