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表面化学実験ステーション

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最終更新日:2024年8月29日
設備ID AE-001
分類 >
設備名称 表面化学実験ステーション (Surface chemistry experimental apparatus)
設置機関 日本原子力研究開発機構(JAEA)
設置場所 SPring-8 BL23SU
メーカー名 オミクロン (Omicron)
型番 EA125
キーワード 表面界面分析、表面反応、その場観察、リアルタイム観察、超高真空
仕様・特徴 表面界面の電子状態の精密分析や時分割観察が可能
・高輝度・高エネルギー分解能高輝度軟X線放射光(400~1500eV)
・複合表面分析(LEED、Arスパッター、SPM、蒸着(実績:Hf、Ge、Cs、Auなど)
・超高真空(2×10-8Pa)~ガス雰囲気(2×10-3Pa)
室温~1150℃加熱中の光電子分光観察
・材料プロセスの時分割観察、超音速分子線を使った反応ダイナミクス
・測定試料:半導体(Si、Ge、SiC、GaN etc)、金属(Cu、Ni、各種合金)、グラフェン等の新材料、ナノ粒子、機能物質など。単結晶、多結晶、アモルファス、薄膜
・導入ガス:酸素、水素、水、ギ酸、一酸化窒素、、メタン、エタン、塩化メチル、NO2、COなど
設備状況 共用を終了した設備です
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AE-001
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