微小部蛍光X線分析装置
| 設備ID | AT-072 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線蛍光分光分析 |
| 装置名称 | 微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SEA_5210Ａ |
| キーワード | 元素分析 X線蛍光分光分析/ X-ray fluorescence spectroscopy 薄膜 微小領域 元素マッピング |
| 仕様・特徴 | ・型式:SEA_5210A ・試料サイズ: 80mm□, 35mmt（上面照射方式） ・分析元素:Na～U ・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可） ・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ ・雰囲気:大気、真空 ・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング |
