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“AT-072“ で検索した結果 4件
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- 23AT0217
- スパッタ装置を用いた銀薄膜成膜と膜厚測定およびアルゴンミリングによる銀薄膜のドライエッチングレートの算出
- 2024.7.25
- 産業技術総合研究所
- 22AT0316
- Hf0.5Zr0.5O2薄膜を用いた強誘電体薄膜キャパシタの作成
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0284
- スパッタAl-Si-Cuの膜厚均一性評価
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所
- 22AT0120
- 微小部蛍光X線分析装置によるCu膜の膜厚測定
- 2023.7.28
- 産業技術総合研究所