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X線光電子分光装置

最終更新日:2024年4月5日
設備ID BA-015
分類 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線光電子分光 (XPS(硬X線を含む))
設備名称 X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
設置機関 筑波大学
設置場所 総合研究棟B
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JPS-9010TR
キーワード 元素分析
化学結合状態分析
深さ方向分析
X線光電子分光(XPS(硬X線を含む))/ X-ray photoelectron spectroscopy
仕様・特徴 Mg / Al ツインアノード X 線銃
単色化 AlKα線(Ag 3d5/2 半値幅:0.65 eV)
静電半球型分光器
試料傾斜機構(0 ~ 90°)
中和電子銃・Ar イオンエッチング銃搭載
試料加熱機構(要相談)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-015
    X線光電子分光装置
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