触針式表面段差計
| 設備ID | BA-014 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | KLA-TENCOR (KLA-TENCOR) |
| 型番 | Alpha-Step D-500 |
| キーワード | 膜厚測定 段差測定 形状測定 段差計/ Step meter |
| 仕様・特徴 | 測定長さ; 30 mm サンプルステージ直径; 140 mm サンプル厚さ(最大); 20 mm 垂直測定レンジ（最大）；1200 μm 垂直測定分解能；0.038 nm (2.5 μm Range) 観察倍率；×1, ×1.3, ×2, ×4 |
