FIB-SEM
| 設備ID | BA-003 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 装置名称 | FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | FEI (FEI) |
| 型番 | Helios NanoLab 600i |
| キーワード | TEM試料作製 断面観察 組成分析 集束イオンビーム（FIB）/ Focused ion beam |
| 仕様・特徴 | 電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。 加速電圧：1-30kV（電子ビーム） 0.5-30kV（Gaイオンビーム） デポジション用ガス：C,Ptガス 分析機能：EDS |
