FIB-SEM
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-003 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | FEI (FEI) |
| 型番 | Helios NanoLab 600i |
| キーワード | TEM試料作製 断面観察 組成分析 集束イオンビーム（FIB）/ Focused ion beam |
| 仕様・特徴 | 電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。 加速電圧：1-30kV（電子ビーム） 0.5-30kV（Gaイオンビーム） デポジション用ガス：C,Ptガス 分析機能：EDS |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-003 |
