電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-609 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] (EB Evaporator [ADS-E86]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | アールデック (R-DEC) |
| 型番 | ADS-E86 |
| キーワード | 蒸着、薄膜、金属、リフトオフ、電子銃、EB、蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | ・用途：自動金属薄膜形成 ・蒸着方式：電子銃型 ・ターゲット：Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt ・到達真空度：10-5 Pa ・ＴＳ間距離：500 mm ・最大試料サイズ：φ8inch ・その他：ロードロック式、水冷式試料ステージ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-609 |
![電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]](data/facility_item/NM-609.jpg)