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イオン注入装置

設備ID	NU-201
分類	熱処理・ドーピング > イオン注入
装置名称	イオン注入装置 (Ion implantation)
設置機関	名古屋大学
設置場所	先端技術共同研究施設
メーカー名	日新電機 (Nissin Electric)
型番	NH-20SR-WMH
キーワード	イオン注入ドーピング
仕様・特徴	・加速電圧：5-200kV ・注入電流1 µA～100 µA

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