多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS）
| 設備ID | BA-026 |
|---|---|
| 分類 |
状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光
（XPS（硬X線を含む）） 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > 紫外光電子分光(UPS) |
| 装置名称 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS） (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 総合研究棟B |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | PHI VersaProbe ４ |
| キーワード | 元素分析 化学結合状態分析 深さ方向分析 X線光電子分光（XPS（硬X線を含む））/ X-ray photoelectron spectroscopy |
| 仕様・特徴 | Al Kα モノクロX線源（Ag 3d5/2 半値幅：0.50 eV） アルゴンガスクラスターイオン銃（Ar-GCIB） 真空紫外線光源（UPS） 低エネルギー逆光電子分光法（LEIPS） 反射電子エネルギー損失分光法（REELS） |
