表面化学実験ステーション
最終更新日：2023年7月4日
| 設備ID | AE-010 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 設備名称 | 表面化学実験ステーション (Surface chemistry experimental apparatus) |
| 設置機関 | 日本原子力研究開発機構（JAEA） |
| 設置場所 | SPring-8 BL23SU |
| メーカー名 | オミクロン (Scienta Omicron, Inc.) |
| 型番 | Hipp-3 |
| キーワード | 表面界面分析、表面反応、その場観察、リアルタイム観察、超高真空 |
| 仕様・特徴 | "表面界面の電子状態の精密分析や時分割観察が可能 ・高輝度・高エネルギー分解能高輝度軟X線放射光(400～1700eV) ・複合表面分析（LEED、Arスパッター、SPM、蒸着（実績：Hf、Ge、Cs、Auなど） ・超高真空(2×10-8Pa)～ガス雰囲気(10-3Pa) 室温～1150℃加熱中の光電子分光観察 ・材料プロセスの時分割観察、超音速分子線を使った反応ダイナミクス ・測定試料：半導体（Si、Ge、SiC、GaN etc）、金属（Cu、Ni、各種合金）、グラフェン等の新材料、ナノ粒子、機能物質など。単結晶、多結晶、アモルファス、薄膜等の固体試料 ・導入ガス：酸素、水素、水、ギ酸、一酸化窒素、メタン、エタン、塩化メチル、NO2、COなど" |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AE-010 |
