【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0205
利用課題名 / Title
スパッタリングによる金属板上への個体触媒形成の研究
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
スパッタリング/Sputtering,資源使用量低減技術/ Technologies for reducing resource usage
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
林田 喜久治
所属名 / Affiliation
大豊工業株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
加藤 剛志,熊澤 正幸,本田 杏奈
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
メタン合成の効率向上のため、名古屋大学のスパッタ装置を借用してスパッタ工法でのプレート触媒形成の可能性を検討した。
実験 / Experimental
3元マグネトロンスパッタ装置（NU-205）でステンレスSUS301金属板両面にZrO2/T2O3とNiの触媒金属を製膜した。製膜条件は昨年度と同じく、比表面積を上げるためにArガス圧は4Paにて実施した。 工業試験場にて成膜した触媒金属の比表面積を確認した。
結果と考察 / Results and Discussion
比表面積測定結果、5.9m2/g-catで、昨年度に実施した片面へのスパッタ成膜結果の比表面積39.0
m2/g-catに対し、8割以上減少した。スパッタ運転条件は変更していないが、ステンレス金属板に反りがあったため、ステージと金属板の間に隙間が発生していた。このことより、ステンレス金属板に成膜時にステージ側への伝熱量が低下して、ステンレス金属板の温度が上昇、スパッタ膜の構造がゾーン１から緻密な組織のゾーンT またはゾ－ン2および3へ移ってしまったと推定する。以上より、触媒量増加の為の基材の両面スパッタを検討したが、成膜時の温度上昇を抑える方法が重要であることが判った。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・参考文献：特願 2007-282067“FT合成用触媒およびFT合成方法"
・本研究に際して ARIMをご紹介いただきました（名古屋大学）加藤教授様、および作業指導していただきました熊沢様、本田様に感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件