【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0062
利用課題名 / Title
金属とセラミックのナノコンポジット材料の観察と3D画像再構成
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,セラミックスデバイス/ Ceramic device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
日高 重和
所属名 / Affiliation
株式会社デンソー
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
森口七瀬
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-101：反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム
NU-106：試料作製装置群
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
金属とセラミックスのナノ粒子からなる多孔質体の多孔率、金属、セラミックスの連続性を評価するため、高い透過率が得られる超高圧透過型電子顕微鏡を用いて、高傾斜の観察を行い、得られたデータを再構成して、３D構造情報を得る。
金属とセラミックスのナノ粒子からなる多孔質体は、高傾斜観察時に膜厚が変化しないよう、細さ約150 nmの円筒状にFIBを用いて事前に加工した。
実験 / Experimental
実施日 3/23(木)
以下の超高圧TEMの条件で、180°傾斜(2°/観察)分の観察、画像取得を行った。
Brightness 3000-4000
CL Ap. 1
OL Ap. 2
α 4
Spot Size 4
Beam Current(最初) 4.0 uA
倍率 25K
結果と考察 / Results and Discussion
細さ約150 nmの円筒状にサンプル加工したことで、すべての傾斜角度で安定したコントラストの画像を得ることができた。
得られた画像を3D情報に再構成し、多孔率、金属それぞれの連続性に関する情報を得ることができた。
金属の部分と、セラミックの部分が重なっている個所は、それぞれの境界が不明瞭になったため、今後より細い加工を施すか、多孔部分が多く含まれる箇所をサンプリングするかの改良が必要と考えている。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
装置を使って観察させていただきありがとうございました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件