【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0046
利用課題名 / Title
高秩序ナノ構造体およびナノ粒子群の創製と評価
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
透過型電子顕微鏡, 結晶性, ナノワイヤ,電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam,電子回折/Electron diffraction
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
巨 陽
所属名 / Affiliation
名古屋大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
礒井宙,髙木龍,立木真太郎,菅沼林太郎,堀田一馬,白澤拓磨,木村康裕,徳悠葵
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
樋口公孝
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-103：高分解能透過電子顕微鏡システム
NU-105：バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
NU-106：試料作製装置群
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ナノ構造体は、化学センサや透明導電膜、ドラッグデリバリーシステムといった多岐にわたる応用が期待されているナノスケールの微小構造体である。ナノ構造体の特徴に、それ自身が有する結晶性が機械特性、電気特性、熱特性に大きく影響を及ぼすことが挙げられる。したがって、ナノ構造体を種々の応用先へ供する上で、構造体の結晶性評価が必要不可欠である。
今回、様々な手法で作製したナノ構造体について、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて結晶性評価と元素分析を実施した。
実験 / Experimental
【利用した主な装置】
・透過型電子顕微鏡JEM-2100plus,
JEM-2100F HK
・バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
ETHOS
NX5000
【実験方法】
ナノ構造体の例として作製したGe2Sb2Te5ナノワイヤを用いた。
直径100~200
nm程度のナノワイヤについて、TEMおよびSTEM機能を用いて、明視野像、電子線回折パターンを取得し、エネルギー分散型X線分析(EDS)により元素マッピング像を取得することで元素同定を行い、ナノワイヤの結晶性を調査した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1にナノワイヤのSTEM像およびナノワイヤに対して取得したEDS分析結果を示す。
今回作製したナノワイヤが確かにGe、Sb、Teから構成され、定量分析による組成比から
Ge2 Sb2 Te5 であることが確認された。
500nm程度の絞り径に対して取得した制限視野電子線回折(SAED)パターンをFig.2に示す。
今回作製したナノワイヤが強い配向を示しながらも複数粒から回折像が得られていることから、多結晶であると確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1: EDS results based on STEM analysis.
Fig. 2: TEM-SAEDP pattern of Ge2Sb2Te5 nanowire.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件