【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.04.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22WS0088
利用課題名 / Title
メソポーラス材料の電気化学デバイスの開発
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
膜加工・エッチング, 形状・形態観察,電子顕微鏡/Electron microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
飯田 万由花
所属名 / Affiliation
早稲田大学 先進理工学研究科 生命医科学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
野崎義人,齋藤美紀子,坂口千佳
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
WS-008：CCP-RIE装置
WS-012：電界放出型 走査電子顕微鏡
WS-021：触針式段差計
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
メソポーラス金属薄膜作製に用いる基板表面を洗浄するため、早稲田大学の設備を利用してアッシングを行った。また、メソポーラス金属薄膜の評価を行うため、早稲田大学の設備を利用して表面観察および膜厚測定を行った。
実験 / Experimental
金/高分子膜基板をCCP-RIE装置（RIE-10NR）で酸素プラズマアッシングした後、早稲田大学先端生命医科学センター（TWIns）内において基板上にメソポーラス金薄膜を形成した。作製したメソポーラス金薄膜の微細構造をFE-SEM(SU-8240)で観察し、触針式段差計（WS-021）で膜厚を測定した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1にアッシング前後における基板表面の清浄度の電気化学的手法による評価結果を示す。アッシングにより溶液中のFe(CN)6-3/-4イオン由来の酸化還元ピークが顕著になったことから、基板表面の清浄度が改善したと考えられる。アッシングした基板上に作製したメソポーラス金薄膜をFE-SEM で観察したところ40～50 nmの細孔が均一に分布しており、触針式段差計で測定した膜厚は100 nm程度であった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Fe(CN)6-3/-4イオンの酸化還元反応をマーカーとした基板表面の清浄度の評価 （左：アッシング前、右：アッシング後）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・戦略的創造研究推進事業（ERATO） 山内物質空間テクトニクスプロジェクト ナノ物性評価グループ
・共同研究者：株式会社オプトラン
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Mayuka IIDA, Kenta SAKIYAMA, Takuya NAKANISHI, Kosuke KATAOKA, Toru ASAHI, “Electrochemical Detection of Biomolecules using Mesoporous Electrodes”, 日本・スウェーデン共同研究促進プログラムMIRAI 2.0, Research & Innovation Week 2022, Fukuoka, Japan（2022年11月）（ポスター発表）
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件