【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.04.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22SH0027
利用課題名 / Title
マイクロ波プラズマCVD法によるナノダイヤモンドの作製
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,CVD,量子コンピューター,フォトニクス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
高島 秀聡
所属名 / Affiliation
京都大学大学院
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
SH-009：レーザラマン分光装置
SH-010：リモート対応型電子線マイクロアナライザー
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
近年、光子を用いた量子技術の実現に向け、ナノメートルサイズのダイヤモンド粒子（ナノダイヤモンド）が注目されている。しかし、一般的に入手可能なナノダイヤモンドは不純物濃度が高いという課題があった。本研究では、高純度ナノダイヤモンドの合成を目指し、CVDダイヤモンド合成装置を利用したナノダイヤモンドの開発に取り組んだ。
実験 / Experimental
極微ナノダイヤモンドを分散させた基板をCVD合成装置に導入、さまざまな条件でナノダイヤモンドの合成を試みた。合成したナノダイヤモンドの形状は電子顕微鏡を用いて評価した。また、それらの光学特性はレーザラマン分光装置、および、共焦点レーザー顕微鏡を用い評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
図1に合成した粒子の電子顕微鏡像を示す。粒径460nm程度のナノ粒子が合成されていることがわかった。同様の条件で合成したナノ粒子をレーザラマン分光装置を用いて測定したところ、ダイヤモンドに由来するラマンピークが観測された。また、共焦点レーザー顕微鏡による測定では窒素不純物に由来するブロードな発光は観測されなかった。これらの結果から、比較的純度の高いナノダイヤモンドが合成されていると考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 合成されたナノ粒子の電子顕微鏡像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件