【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.04.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22SH0021
利用課題名 / Title
研削・研磨後の被加工物の表面状態解析
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
研削,研磨
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
横尾 晋
所属名 / Affiliation
株式会社 ディスコ
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
研削・研磨加工後の被加工物の表面状態を解析することにより、最適な研削・研磨加工方法・条件を明らかにする。
実験 / Experimental
研削・研磨の加工方法・条件を変更した試料を作製し、それらの表面状態をX線光電子分光法で解析した。
結果と考察 / Results and Discussion
X線光電子分光法は、試料にX線を入射し、発生した光電子のエネルギーを分光することにより、最表面の組成や化学結合状態について調べることができる手法である。この方法により、研削・研磨加工後の最表面の組成および状態を分析した。その結果、加工条件によって組成比や化学状態が変化することを確認することができた。また、、Arスパッタを併用することにより、X線光電子分光法で深さ方向の分析をすることもできる。これにより、加工条件によって最表面だけでなく、深さ方向の組成および状態分析も変化していくことが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本測定を行うにあたり、信州大学の小畑美智子様に、使用方法を教えていただくだけでなく、試料準備や測定条件などについてもご指導いただき、大変ありがたかったです。小畑様の人柄にもよるところが大きかったとは思いますが、このように所属機関の枠を越えてご指導いただける機会は大変少なく、非常に有意義な実験になりました。改めて深く御礼申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件