【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.02】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KU1040
利用課題名 / Title
材料表面の欠陥分析手法の開発
利用した実施機関 / Support Institute
九州大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,走査プローブ顕微鏡/Scanning probe microscopy,イオンミリング/Ion milling,集束イオンビーム/Focused ion beam,光学顕微鏡/Optical microscopy,赤外・可視・紫外分光/Infrared and UV and visible light spectroscopy,X線回折/X-ray diffraction,電子回折/Electron diffraction,電子分光,ナノ粒子/ Nanoparticles,ナノシート/ Nanosheet
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
王 胖胖
所属名 / Affiliation
公益財団法人九州先端科学技術研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
吉原大輔,樋口芙弥
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
材料表面の顕微鏡観察や表面分析を行うことによって、各種開発製品の欠陥分析手法の確立を目的とする。電子顕微鏡による微細構造観察や、X線光電子分光分析装置による表面成分分析などによって、材料表面の欠陥の原因を見つけることが可能な方法を探る。これによって、開発中の微細構造を有する各種材料に関してどのような測定をすることでその材料が持つ欠陥構造を明らかにできるのかを確立する。現在開発中の新規材料の改善・改良を行うために分析評価手法を確立する必要がある。この背景をもとに、顕微鏡観察や表面分析を行うことによって、これまでに確立されていない各種材料の分析評価手法に関する指針を立てる事を目的として本研究課題に申請し取り組んだ。
実験 / Experimental
今回は本事業の登録装置であるX線光電子分光装置を使用し、現在開発中のサンプルである有機薄膜試料や表面処理試料の構成元素、元素含有量および元素の化学結合状態に関する情報を得た。
結果と考察 / Results and Discussion
薄膜試料や表面処理を行った実験試料の極表面の構成元素、元素含有量および元素の化学結合状態について情報を得るため、X線光電子分光装置による測定を行った。その結果、表面の定量的な分析を行うことができ、目的とする欠陥分析手法としての活用や完成品の薄膜状態、表面処理状態についての情報も得ることができた。今後は更なる情報を得る手法としてX線光電子分光装置を活用したマッピング、ライン分析などの測定による装置利用を検討している。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件