【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.26】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KU0027
利用課題名 / Title
FIB-SEMを用いた機能性材料の微構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
九州大学 / Kyushu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,ナノ粒子/ Nanoparticles
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
中島 光一
所属名 / Affiliation
茨城大学大学院理工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究の目的はペロブスカイト型酸化物ナノ粒子の合成およびセラミックスの作製である。溶液反応を用いてペロブスカイト型酸化物のナノ粒子を合成し、それをペレットにして焼成する。この焼成したペレットの内部構造をFIB-SEM観察により明らかにする。
実験 / Experimental
ペロブスカイト型酸化物ナノ粒子の合成はソルボサーマル法を用いて行った。溶液反応であるソルボサーマル法は、原子レベルから粒子を構築することがボトムアップ型アプローチである。得られたペロブスカイト型酸化物ナノ粒子を用いてペレットを成型し、これを焼成する。得られた生成物に対してFIB-SEM観察を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
一般的なSEM観察を行うと表面状態の形状観察を行うことができるが、ペレットのようなバルクの内情情報を知るためには、FIBで削りながらSEM観察を行うことが有効である。そのため、本研究ではFIB-SEMを用いて観察を実施した。その結果、ペロブスカイト型酸化物の粒子が互いに接触してペレットを形成していることを確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究を実施するにあたり、九州大学の阿内三成氏のご尽力を賜りました。ここに深く感謝申し上げる。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件