利用報告書 / User's Report

【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.07.03】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23TU0206

利用課題名 / Title

高分子を用いた電気化学トランジスタの作製

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials

キーワード / Keywords

エレクトロデバイス/ Electronic device,ウエアラブルデバイス/ Wearable device,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

山本 俊介

所属名 / Affiliation

東北大学大学院工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-167:電子ビーム蒸着装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

電気化学トランジスタはバイオセンサ応用に向けて注目されている。本研究では高分子ブレンドをチャネル層に用いた電気化学トランジスタ素子について動作検証を行う。

実験 / Experimental

電子線蒸着により、Ti 10 nm, Au 100 nmの電極をシャドウマスクを用いて、電気化学トランジスタ用基板を作製した。

結果と考察 / Results and Discussion

電子線蒸着を用いて電気化学トランジスタ用基板を作製することができた。作製した基板は高分子ブレンドを用いた電気化学トランジスタ素子のソース・ドレイン電極として正常に動作した。今後、作製した電気化学トランジスタ素子の詳細な特性の評価を行う。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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