【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.31】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23MS5044
利用課題名 / Title
導電性透過石英基板の作製
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型プローブ顕微鏡, 光誘起力顕微鏡, 円編光, キラリティ
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山西 絢介
所属名 / Affiliation
分子科学研究所 メゾスコピック計測研究センター（岡本G）
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
走査型プローブ顕微鏡の探針と試料基板の電位の関係を担保しつつ、探針に基板背面から光を照射できるようにするため、マスクレス露光装置を用いて、金コートされた基板にΦ５０um~200um程度の金コートがない部分を作った。
実験 / Experimental
マスクレス露光装置をつかってフォトリソグラフィを行った。
結果と考察 / Results and Discussion
作製した基板は３枚だった。そのうちの１枚は基板上にコンタミが見られ、残りのうち２枚はほぼコンタミなく作製することができた。コンタミは、金コートの部分にもコーティングをなくした部分にも見られた。おそらく、基板洗浄の際、洗浄の不手際もしくは洗浄が不十分だったためと思われる。しかしながら、コーティングされていない部分は基板上に多くあるので、使用する分にはきれいな部分を使えばいいので問題はない。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件