【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22JI0039
利用課題名 / Title
ミストデポジション法による有機機能性薄膜の製膜を目指した成長装置開発
利用した実施機関 / Support Institute
北陸先端科学技術大学院大学 / JAIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
バイオセンサ,におい・ガスセンサ
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
酒井 平祐
所属名 / Affiliation
学校法人国士舘大学大学院工学研究科 電気工学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
仲林 裕司
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、利用者が研究を進めている有機半導体分野において、ミストデポジション法を用いた製膜装置による機能性薄膜の製膜が可能であるかどうかを明らかにする、あるいは薄膜形成における課題を抽出することを目的とする。
本研究期間では、ミストデポジション法を用いた薄膜製膜装置を試作し、この方法をベースとした研究展開が可能であるかどうか、課題が何かについて明らかにする。将来的には、今回の試行的利用の結果をもとにして、装置開発を進めていくことにより、ミストデポジション法を用いた有機機能性薄膜の製膜と薄膜の応用分野である有機エレクトロニクスへの応用展開を進めて行く。
実験 / Experimental
3次元CADソフトウェアSolidworksを用いてミストデポジション成膜装置の機械設計を行い、工作機械によって装置を開発した。開発した装置を用いて導電性高分子材料であるPEDOT:PSSを成膜、顕微ラマン分光装置を用いて骨格振動特性の評価を実施した(Fig.2)。その結果、PEDOTを構成するチオフェンと結合するCのα位とβ位の骨格振動と示唆されるラマンスペクトルが検出された。
結果と考察 / Results and Discussion
作製したミストデポジション成膜装置を用いて導電性高分子材料であるPEDOT:PSSを成膜した。PEDOT:PSS膜を顕微ラマン分光装置を用いて評価したところ、PEDOTを構成するチオフェンと結合するCのα位とβ位の骨格振動と示唆されるラマンスペクトルが検出された（Fig.1）。この結果は、装置によりPEDOT:PSSの薄膜が成膜できたことを示唆している。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 ミストデポジション成膜装置によって製膜されたPEDOT:PSSの薄膜のRamanスペクトル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
「試行的利用」の助成を得て実施した。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件