【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UE5338
利用課題名 / Title
X線光電子分光装置を利用した表面元素分析
利用した実施機関 / Support Institute
電気通信大学 / UEC
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
X線光電子分光, 元素分析
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
松尾 繁樹
所属名 / Affiliation
芝浦工業大学工学部機械工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
水野 陽登
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
北田 昇雄,戸佐 圭汰
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
レーザーを使った表面窒化の研究を行っている。このARIM利用では，窒化が生じたかどうかを調べることを目的として，XPSを用いた表面付近の元素分析を行った。
実験 / Experimental
レーザーによる表面窒化を試みたアルミニウムおよびシリコン基板に対し，XPSを用いた表面元素分析を行った。加えて，アルゴンイオンエッチングにより表面を10 nm程度除去しての元素分析も行った。
結果と考察 / Results and Discussion
今回の実験では，残念ながら窒素を検出することはできなかった。表面付近では，元の基板材料に加え，酸素と炭素が検出された。レーザー照射部では，未照射部に比べ酸素が多く存在する傾向がみられ，レーザー照射により（意図していた窒化ではなく）酸化が生じたと考えられる。また，炭素はエッチングによって存在量が減少したので，外部からのコンタミネーションと考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 松尾 繁樹, 水野 陽登, 近藤 敏彰, "水素混合窒素ガスの吹き付けによる金属材料のレーザー窒化", 第71回応用物理学会春季学術講演会, 令和6年3月13日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件