【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23SH0039

利用課題名 / Title

無機焼結体における品質改善のための基礎データ習得

利用した実施機関 / Support Institute

信州大学 / Shinshu Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

AES,EPMA

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

池原 靖美

所属名 / Affiliation

セイコーエプソン株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

SH-008：オージェ電子顕微鏡
SH-010：リモート対応型電子線マイクロアナライザー

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

無機焼結体について品質改善をするために現状確認するため表面元素分析を実施。

実験 / Experimental

条件の違うサンプルに対し表面元素状態に差異があるか確認する。

結果と考察 / Results and Discussion

・焼結体について粒界に偏析があることで特性が変わる。EPMAにて偏析が無いことを確認することができた。・測定対象としたデバイスでは、電気的な異常が起こっている。上下電極間に挟まれた酸化物の表面に電極の成分が付着してリークパスを形成しているものと予想し、AESにて元素分析を行った。 酸化物の表面で電極の成分が局所的に強く出ている所はなかった。酸化物の表面には電極成分が一様に付いており、何らかの理由（例えば電極間距離が僅かに短い、電界集中が起こるなど）によって、局所的なリークが起こったものと考えている。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

AESマッピングデータ

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件