【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.07.02】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23SH0036
利用課題名 / Title
自動車用パワーモジュールの開発
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学 / Shinshu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
表面汚染,質量分析/ Mass spectrometry
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
川上 慶彦
所属名 / Affiliation
富士電機株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
菊地理佳
利用形態 / Support Type
（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
自動車用パワーモジュール構成部材である端子ケース部材のTOF-SIMSによる表面分析
実験 / Experimental
パワー半導体モジュールの構成部材である端子ケース部材の内部は内部のパワー半導体と接続するワイヤーボンディング部とPPS部で構成される。 このワイヤーボンディング部とPPS部について、洗浄有無、UV照射有無(照射時間振り)による表面汚染状態を定量化確認するために、TOF-SIMS分析を実施した。(分析水準は10水準)
結果と考察 / Results and Discussion
・表面洗浄及びUV照射有無による明確な有意差は見られない結果であった。
・UV照射は何か特定の物質が低減しているという結果は確認されなかった。汚染物除去よりも表面改質の効果が大きいのではないかと考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
端子部及びPPS部のTOF-SIMS結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
短納期の対応依頼にも関わらず、ご対応頂きありがとうございました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件