【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.07.02】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23SH0028
利用課題名 / Title
Composition analysis of inorganic composite structures
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学 / Shinshu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
近藤 敏彰
所属名 / Affiliation
愛知工科大学 工学部 機械システム工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
小畑美智子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
アルミニウムにアノード酸化を施すことで得られるポーラスアルミナのナノ細孔中へ，電解析出法により無機物質を充填すると，無機物質とポーラスアルミナのコンポジット材が得られる。無機物質の種類の選択と空間分布の制御を適切に行うことで，ポーラスアルミナへの様々な機能性の付与が可能となる。本課題では，ポーラスアルミナ中に充填したモリブデン元素の空間分布の観察を目的とした。
実験 / Experimental
アルミニウムにアノード酸化を施し，ポーラスアルミナを作製した。電解析出法により，ポーラスアルミナのナノ細孔中にモリブデン化合物を充填した。電子線マイクロアナライザー（EPMA; SH-010）による観察に先立ち，イオンミリング装置を用いてサンプルの断面を形成した後，イオンコーターを用いてオスミウムをコートした。ナノ細孔の深さ方向へのモリブデン元素の空間分布を，EPMAを用いて観察した。サンプルの幾何学形状は走査型電子顕微鏡（SEM）を用いて観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
図１には，本検討で作製したコンポジット材のEPMA観察結果を示す。アルミニウム元素と酸素元素は，ポーラスアルミナ層において均一に分布している様子が観察された。モリブデン元素は，細孔底部付近に多く存在している様子が観察された。本作製手法によれば，ポーラスアルミナ中へのモリブデン化合物の電解析出が可能であった。本手法は，モリブデン化合物とポーラスアルミナからなるコンポジット材を必要とする機能性デバイス形成への適用が期待される。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ EPMAによるコンポジット材の断面元素マッピング
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件