【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23SH0022
利用課題名 / Title
金属基板上の異物調査
利用した実施機関 / Support Institute
信州大学 / Shinshu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
羽持 麻衣子
所属名 / Affiliation
ニデックコンポーネンツ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
金属基板上に発生する異物の種類を特定する。
実験 / Experimental
複合ビーム加工観察装置を用いて、金属基板上に発生・付着している異物の断面を観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
複合ビーム加工観察装置を用いることで、異物を断面から観察、成分分析を行うことが可能である。
断面から観察することにより、異物の発生ポイントの特定とEDS分析により異物を構成する物質を特定することができ、金属基板上に発生する異物の混入経路の特定を進めることにつながった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本測定に関して、信州大学の堀田様には装置操作のみならず、測定条件やデータの見方についてご指導いただきまして、非常にスムーズな実験を行うことができました。誠にありがとうございました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件