【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS1080
利用課題名 / Title
微細加工UV硬化樹脂の開発
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-
【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials(副 / Sub)-
キーワード / Keywords
ナノインプリント/ Nanoimprint
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)
児島 俊貴
所属名 / Affiliation
三洋化成工業株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
前田和哉,青木一樹,山下真友子,大幸武司,田中理沙
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
佐久間
利用形態 / Support Type
(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub),技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
当社ではナノインプリント用のUV硬化樹脂を製造・販売しており、他の応用展開可能性検討のため、ナノサイズのインプリント可能かの検証を実施した。
実験 / Experimental
基板上に当社UV硬化樹脂(サンラッド)を塗布し、レプリカモールドを押し当てUV照射することによりインプリントを行った。
結果と考察 / Results and Discussion
レプリカモールドを使用して離型はでき、インプリント可能であることを確認した。(図1)一方、パターニングが一部完全にできていない部分もあり、成型するためには硬化性・樹脂強度向上等が必要であることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)
なし
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 新機能材料展2024, 24/1/31~24/2/2
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件