利用報告書 / User's Reports


【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.05.19】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23OS1080

利用課題名 / Title

微細加工UV硬化樹脂の開発

利用した実施機関 / Support Institute

大阪大学 / Osaka Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

ナノインプリント/ Nanoimprint


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

児島 俊貴

所属名 / Affiliation

三洋化成工業株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

前田和哉,青木一樹,山下真友子,大幸武司,田中理沙

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

佐久間

利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub),技術補助/Technical Assistance


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

OS-108:ナノインプリント装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

当社ではナノインプリント用のUV硬化樹脂を製造・販売しており、他の応用展開可能性検討のため、ナノサイズのインプリント可能かの検証を実施した。

実験 / Experimental

基板上に当社UV硬化樹脂(サンラッド)を塗布し、レプリカモールドを押し当てUV照射することによりインプリントを行った。

結果と考察 / Results and Discussion

レプリカモールドを使用して離型はでき、インプリント可能であることを確認した。(図1)一方、パターニングが一部完全にできていない部分もあり、成型するためには硬化性・樹脂強度向上等が必要であることが分かった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


図1


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)

なし


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
  1. 新機能材料展2024, 24/1/31~24/2/2
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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