【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.12】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS1071
利用課題名 / Title
フレキシブルエレクトロニクス実装のための先進材料開発とデバイス応用
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィ・露光・描画装置、フレキシブル電子デバイス、薄膜デバイス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
荒木 徹平
所属名 / Affiliation
大阪大学 産業科学研究所 先進材料実装研究分野 荒木研究室
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
阿部岳晃,栗平直子,松田尚也,松岡望
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
OS-127：レーザーラマン顕微鏡
OS-113：多元DC/RFスパッタ装置
OS-106：LED描画システム
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
従来のエレクトロニクスでは、回路を構成するため、電極や信号伝送線としての導電性材料や、トランジスタのように信号のスイッチングや増幅を行うための半導体材料が欠かせない。しかし、ウェアラブルやインプラントにおける電子デバイス開発においては、シリコンやセラミックスなどの硬くて脆い材料ではなく、柔らかい配線や半導体、基材などが必要となる。 フレキシブル電子デバイスは、エラストマー基板や薄膜フィルム基板上で集積化されることが多い。本課題では、フレキシブル電子デバイスの集積実装に資する周辺技術の開発を実施する。将来、曲げや伸縮耐久性に優れるプローブや回路などの創出が期待される。本年度は、金属薄膜の作製に関して、ARIM拠点の設備を利用して実施したので報告する。
実験 / Experimental
金属薄膜の作製では、シリコンウェハ上に剥離可能なポリマー薄膜を基板として成膜した。本実験では、ポリマー薄膜基板上への密着性やデバイス応用の可能性を調査した。
結果と考察 / Results and Discussion
多元DC/RFスパッタ装置などを用いてPtやAuをポリマー基板に形成した。密着層導入や蒸着エネルギー調整などを実施し、最適化することにより、ポリマー基材へ密着する金属薄膜を得た。Auに関しては、リフトオフによりパターニングを行い、フレキシブル有機デバイスへの応用可能性を確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の遂行にあたり、ご協力頂いた大阪大学・ARIM支援員の皆様に感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 阿部岳晃, 荒木徹平, 松田尚也, 栗平直子, 秋山実邦子, 植村隆文, 関谷毅, "マルチモーダル生体信号計測へむけた透明･ストレッチャブル有機電気化学トランジスタの開発," 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 22p-D902-4, 2023年9月22日
- 松田尚也, 荒木徹平, 阿部岳晃, 桐山一輝, 秋山実邦子, 栗平直子, 廣瀬 由美, 笠井夕子, 植村隆文, 関谷毅, "電解質ゲルを用いたフレキシブル有機電気化学デバイスの開発," 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 19p-D902-1, 2023年9月19日
- 松岡望, 荒木徹平, 阿部岳晃, 川端玲, 植村隆文, 関谷毅, "光センサとストレッチャブルエレクトロニクスの融合による超柔軟シート型センサの創出," 2023年大阪大学JSAP学生チャプター講演会, 2023年9月28日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件