【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.20】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS1037
利用課題名 / Title
微細加工技術の援用による固体高分子形燃料電池に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
津島 将司
所属名 / Affiliation
大阪大学工学研究科機械工学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
鈴木崇弘,桐ケ谷遼,小濱浩史,三木歩未,河添崇行
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
OS-114：RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）
OS-115：RFスパッタ成膜装置（絶縁体成膜用）
OS-127：レーザーラマン顕微鏡
OS-125：走査型プローブ顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本課題では，固体高分子形燃料電池に用いる多孔質電極における生成物質（液水）の輸送挙動と発電特性の関係を明らかにするため，微細加工技術を応用したマイクロ流体デバイスの作製，評価を行った．また，電解質膜の特性解析や電極スラリー分析のためのマイクロ電極チップの作製を実施した．
実験 / Experimental
【利用した主な装置】RFスパッタ製膜装置【実験方法】RFスパッタ製膜装置を用いて，あらかじめレジストのパターニングを施したシリコン基板上に金薄膜を形成した．研究室に持ち帰り，リフトオフにより金薄膜を除去，パターニングを行った．その後，ウェットエッチングによって溝形状を作製した．作製したチップを用いて固体高分子形燃料電池評価のためのマイクロ流体デバイスを構成した．また，同様のスパッタを実施したチップを用いて，パターニングにより電極端子チップを作製した．
結果と考察 / Results and Discussion
前年度にスパッタ条件を見直したことにより，安定した膜質が得られるようになり，その後のパターニングのプロセスにおける問題が生じることがなくなった．このため，デバイス作製を安定して実施することができ，デバイスを用いた測定・実験に注力することができた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の一部はNEDO（JPNP20003）およびJSTさきがけJPMJPR22O4の助成を受けて行われました．機器利用にあたり，技術支援員の皆様から多大なご支援を賜りましたことに謝意を表します．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件