【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS1033
利用課題名 / Title
表面弾性超音波による生体高分子のマニピュレーション
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,バイオセンサ/ Biosensor,光学顕微鏡/ Optical microscope,リソグラフィ/ Lithography,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
中島 吉太郎
所属名 / Affiliation
大阪大学大学院 工学研究科・物理学系専攻・精密工学コース・量子計測領域・荻研究室
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
土井勝太郎,竹内柊
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
佐久間美智子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
OS-106：LED描画システム
OS-107：マスクアライナー
OS-126：接触式膜厚測定器
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
近年、生体高分子が形成する液滴用の凝縮体の生化学分野における重要性が注目されている。本研究では、生体高分子が形成する凝縮体の材料物性を測定するために音響マイクロ流体デバイスを製作し、その応用可能性を探索することを目的とする。
実験 / Experimental
本研究における、音響流体デバイスを製作するための実験をARIMの設備を用いて行った。フォトリソグラフィを行うためのマスクパターンの描画をLEDマスクレス描画装置で行った。また、マイクロ流体デバイス製作のための鋳型となるSU-8モールドをマスクアライナーやスピンコーターを用いたプロセスを実施することにより製作した。また得られたパターンが意図した高さに作られているかを計測するために、接触式段差系(表面プロファイラ)を用いた計測を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
SU-8モールドの高さは、目標値50μmに対し、45-53μmの高さの結果を得ることができ、良好なモールドを得ることができた。また、LED描画装置を用いた実験においては、空間分解能20μm程度のマスクパターンを現像可能なことが明らかになった。以上のことより、今回のARIMにおける実験は、我々の研究で用いる音響流体デバイスの製作に適していることが明らかになった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件