【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS0016
利用課題名 / Title
SAWおよびBAWデバイスのTEM観察用薄片サンプル作成
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
壁 義郎
所属名 / Affiliation
スカイワークスフィルターソリューションズジャパン㈱
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
高木 空
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
当社はスマートフォンを始めとした製品に使用される周波数フィルター向けに、SAWおよびBAWデバイスの製造を行っており、その研究・開発過程あるいは量産時のトラブル等において、特定箇所のTEM断面観察を行う必要がある。
実験 / Experimental
当社デバイスを集束イオンビーム加工装置を用いて、TEM断面観察用の薄片サンプルを作成する。
結果と考察 / Results and Discussion
本年度はオペレーショントレーニングの1回の利用にとどまった。次年度から本格的な利用を開始する。トレーニング時に当社デバイスを使った薄片サンプルを試作し、厚さ100nm以下の仕上がりを確認した。TEM観察を実施したところ、透過像を取得できることを確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件