【公開日：2024.07.26】【最終更新日：2024.06.12】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23OS0004
利用課題名 / Title
高機能結晶化ガラスの微細構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
集束イオンビーム/ Focused ion beam,イオンミリング/ Ion milling,ナノ粒子/ Nanoparticles
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
豊福 直樹
所属名 / Affiliation
日本電気硝子㈱
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
市野 元太,矢部 麻由,堀尾 智世
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
市川 聡
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
Li2O-Al2O3-SiO2系ゼロ膨張透明結晶化ガラスの微細組織をナノレベルの空間分解能で調査するため、マテリアル先端リサーチインフラのJEOL製ION SLISERおよびThermo Fisher Scientific製Scios2を利用してSTEM解析用試料を作製し、STEM解析を実施した。
実験 / Experimental
自社で事前加工した試料を用いて、マテリアル先端リサーチインフラのJEOL製ION SLISERおよびThermo Fisher Scientific製Scios2を用いてSTEM解析用試料を作製し、自社のSEMを用いて解析を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
JEOL製ION SLISERおよび Thermo Fisher Scientific製Scios2を利用して、Li2O-Al2O3-SiO2系ゼロ膨張透明結晶化ガラスのTEM解析用試料作製条件の最適化を行った。最適条件で作製した試料を用いてSTEM解析を実施したが、高倍率にすると目的結晶が破壊されたため、解析することができなかった。目的結晶は電子線に弱いことが示唆される。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 STEM観察像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件