【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22MS5036
利用課題名 / Title
UVSOR代行実験のためのグローブボックス利用
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
トランスファーベッセル,放射光,グローブボックス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
田中 清尚
所属名 / Affiliation
自然科学研究機構分子科学研究所極端紫外光研究施設 光物性測定器開発研究部門
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
Ruihua He
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
宮島 瑞樹
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
中国の共同研究者Ruihua He氏がUVSORでの代行実験を実施するために、Ar封入した容器に試料（SrTiSe）を固定して郵送してきた。マテリアル先端リサーチインフラのグローブボックスの中で開封し、UVSORで開発した専用搬送用ケースに移し替えて、UVSOR BL5Uの実験ステーションに試料を大気に晒すことなく搬送した。その後Arスパッタ、試料アニールを経て光電子分光測定の代行実験を実施した。
実験 / Experimental
中国で作製し、Ar封入された容器にて郵送されてきた薄膜試料（SrTiSe）をマテリアル先端リサーチインフラのグローブボックスの中で開封し、UVSORで開発した専用輸送用ケースに移し替えた。その後UVSOR BL5Uに搬送し、光電子分光実験の代行実験を行った。光電子の実験後再びグローブボックス内で試料を郵送用容器に移し替え、中国に返却した。
結果と考察 / Results and Discussion
UVSORで軽微なArスパッタ、アニールをすることで表面敏感な光電子分光でも測定できるレベルの清浄表面を得ることに成功した。これはグローブボックスを利用して試料表面を大気に晒すことなく光電子分光装置に搬送できていたことを示しており、海外と試料をやり取りする手法を確立することができた。UVSORで軽微なArスパッタ、アニールをすることで表面敏感な光電子分光でも測定できるレベルの清浄表面を得ることに成功した。これはグローブボックスを利用して試料表面を大気に晒すことなく光電子分光装置に搬送できていたことを示しており、海外と試料をやり取りする手法を確立することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1: UVSOR BL5Uに取り付けた専用搬送用ケース（赤丸）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・共同研究者: Westlake Institute for Advanced Study Ruihua He氏 ・宮島 瑞樹様(分子科学研究所)に感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件