【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.07.04】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23AT5031
利用課題名 / Title
超伝導検出器を備えたX線吸収分光装置の高度化のための超伝導検出器の特性評価
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
センサ/ Sensor,放射光/ Synchrotron radiation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
志岐 成友
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-502：超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS)
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
超伝導トンネル接合（Superconducting Tunnel Junction: STJ）検出器を備えたX線吸収分光装置は、軟X線領域において部分蛍光収量法により軽元素のナノ構造の分析を可能とする、ユニークな装置である。本課題ではSTJ検出器1画素の面積を大きくすることを目的として、従来の４倍の画素面積を有する200ミクロン角STJ検出器の評価実験を行った。
実験 / Experimental
200ミクロン角-100画素STJ検出器を冷凍機に取り付け、0.3Kにおける電流電圧特性を測定した。電流電圧特性の測定には２端子法を用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
代表的な電流電圧特性を図１に示す。横軸は 0.2 mV/div, 縦軸は 2 nA/div である。この画素の場合、サブギャップ電圧 0.3 mV における電流値(Isg)は 0.5 nA である。100画素中の85個がX線検出器として用いるのに十分な電流電圧特性を示した。有感面積は 3.4 mm2 に相当し、従来本装置に用いているチップの有感面積 2 mm2 より大きい。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
A typical current-voltage curve of a 200 um superconducting tunnel junction. X: 0.2 mV/div, Y: 2 nA/div.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本課題の一部はJSPS科研費 JP22K12676の助成を受けたものです。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件