【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.07.05】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23TU0194

利用課題名 / Title

TEMを用いた磁性薄膜の評価

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

薄膜,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam,スピントロニクス/ Spintronics

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

小泉 洸生

所属名 / Affiliation

東北大学 電気通信研究所 CSIS 廣畑研

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

廣畑貴文,Claudia Felser

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

早坂浩二

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-503：超高分解能分析電子顕微鏡
TU-508：集束イオンビーム加工装置
TU-507：集束イオンビーム加工装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

本研究ではフェリ磁性ホイスラー合金を用いて、追加元素をドープし磁性を制御することにより、擬似スピンバルブ構造を作製し電流パルスによる局所的な結晶化過程を詳細に評価する。ドープによる擬似スピンバルブ構造の実現には、組成制御を厳密に行う必要があるため、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、詳細な結晶構造を観察する。

実験 / Experimental

今年度は、初心者講習と来年度の本観察に向けた予備実験を行った。予備観察では、MgO基板上に製膜したホイスラー合金膜を用いた。

結果と考察 / Results and Discussion

初心者講習では、Ge結晶の観察を行った。来年度の実験に向けた予備測定では、本実験の基準となるドープやパルス印加をしていない試料のFIB加工とTEM観察を行った。観察結果より、先行研究同様の良質な薄膜が作製できていることが確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件