【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23WS0335
利用課題名 / Title
PDMSを用いたマイクロ流路の作製
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,バイオアダプティブ材料/ Bioadaptive materials,ボンディング/ Bonding,流路デバイス/ Fluidec Device,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
平田 拓真
所属名 / Affiliation
AGC株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
折戸 優樹,古城 侑也,戸田 達也
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
藤田 理紗,田中 大器
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
WS-008：CCP-RIE装置
WS-014：紫外線露光装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
バイオ医薬品分野で用いられる流体デバイス内の混合状態を実験的に解析することを目的に、PDMSシートによる流路作製法を検討。鋳型の作製、PDMSシートへの流路パターン転写、ガラス基板とPDMSシートのプラズマ接合、形態観察等のデバイス作製に要する一連の作業を支援担当者にレクチャーいただきながら実施した。
実験 / Experimental
UV露光機 (ズースマイクロテック社製MA6) を用い、UV硬化樹脂をスピンコートしたシリコン基板にマイクロ流路を形成することでPDMSシートへの流路パターン転写に用いる鋳型を作製した。事前に硬化剤を混合、脱気したPDMSを鋳型に流し込み、熱硬化後、硬化したPDMSシートを剥離した(図1)。CCP-RIE装置 (サムコ株式会社製RIE-10NR) を用い、作製したPDMSシートをガラス基板にプラズマ接合し、マイクロ流路デバイスを作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
マイクロ流路をパターン転写したPDMSシートを作製し光学顕微鏡にて観察、目的の流路が問題無く形成されていることを確認した。一方で、鋳型からPDMSシートを剥離する際にチューブ接続穴を形成するためのハトメが鋳型から脱離するケースが多発した。ハトメと鋳型の接着における硬化時間が不十分であったことに起因すると考えられ、再作製時は熱硬化時間を延長して実施予定。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 鋳型からPDMSへのパターン転写工程
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件