【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23WS0441
利用課題名 / Title
レーザー直接描写の露光・現像条件の確立
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,リソグラフィ/ Lithography,細胞培養デバイス/ Cell Culture Device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
クー テンホン
所属名 / Affiliation
富士フイルム株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
WS-016：レーザー直接描画装置
WS-014：紫外線露光装置
WS-011：電界放出型 走査電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
目的：UV露光装置を使用し、UV硬化層を設計パターン通りになるように露光処理します。用途：細胞の担体になるように様々のパターンを作成して、実現可否を検証します。実施内容：WS016レーザー直接描画装置MLA150とWS014紫外線露光装置両面マスクアライナMA6で露光処理します。そして、WS011電界放出型走査電子顕微鏡S-4800で表面を観察します。
実験 / Experimental
WS016レーザー直接描画装置MLA150で露光処理後、アルカリ液で現像します。そして、WS014紫外線露光装置両面マスクアライナMA6を使用し、後露光します。処理後、WS011電界放出型走査電子顕微鏡S-4800で表面を観察して、設計したパターン通りになったかどうか確認し、結果を判断します。
結果と考察 / Results and Discussion
設計パターン通りにならなかったため、原因を確認中です。おそらくWS016レーザー直接描画装置MLA150は直線描写と最小露光サイズの制限があると考えます。また、20mm角以上のサンプルはスキャン不可能だと判明しました。メーカーに確認した結果として、柔らかいものでサンプルスキャンする際に、マイクロ単位で変形した部分にカメラが当たり、機械の判断で自動停止になるため、当社のサンプルをMLA150で露光するのが難しいと判断します。MLA150のサンプルの設置の方法と最適化が必要だと考えます。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件