【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.09】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NU0276
利用課題名 / Title
有機膜へのArイオン注入の検討
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
有機膜, イオン注入
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
服部 隼人
所属名 / Affiliation
日産化学株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
坂下満男
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
有機膜を塗布した４インチSi基板にArイオン注入した時の有機膜の膜質変化について確認することを目的に行い。ドーズ量が多いほど変化が大きいことを確認した。
実験 / Experimental
イオン注入装置を用い、有機膜（ポリマー溶液をスピンコートによって塗布した）にＡｒイオンの注入実験を行い、イオン注入をする前の膜質とイオン注入をした後の膜質についてどのような変化が起きているのかを各種膜分析を実施した。有機膜の厚みは６５０Åで実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
電圧２０ｋｅＶ、電流１０μＡの時、ドーズ量を１０Ｅ１３の場合は処理時間１０．２秒となった。同様に前記電圧、電流量でドーズ量を１０Ｅ１４の場合は１０２．４秒となり、１０Ｅ１５の場合は１００６秒となった。次に電圧を１５ｋｅＶに変更し、電流１０μＡの時、ドーズ量を１０Ｅ１３とした場合は処理時間１１．７秒となり、ドーズ量を１０Ｅ１５とした場合は１０４９秒となった。また、各種膜分析をした結果、ドーズ量を１０Ｅ１３の場合はわずかな膜変質にとどまったのに対して、ドーズ量を１０Ｅ１５と増やした場合は有機膜の膜質変化が大きいことを確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件