【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0368
利用課題名 / Title
セラミック材料のレーザ加工効果評価
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
フェムト秒レーザ, 連続波レーザ, セラミック材料,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
WEI CHAORAN
所属名 / Affiliation
東京大学 大学院工学系研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
セラミック材料の高速微細加工法を開発するために、フェムト秒レーザと連続波レーザを同時に照射する加工法を考案した。
実験 / Experimental
フェムト秒レーザと連続波レーザを同時にセラミック材料の表面に照射することで、穴あけ加工を行った。複数の加工を行い、およそ5mm*5mmの面積に大量の加工を実施した。連続波レーザ加工後のセラミック試料の表面形態及び元素構成の変化を探索するために、電子顕微鏡観察とEDS分析を行った。比較するために、フェムト秒レーザのみで加工された穴も同時に観察した
結果と考察 / Results and Discussion
提案加工法により加工された穴の内部壁面形態を電子顕微鏡観察で確認した。連続波レーザのエネルギーによる溶融と再凝固が確認された。そして、EDSにより元素構成がわかり、従来のフェムト秒レーザ加工と比べると、材料の酸化が特に強くならないことを確認した。ただし、壁面に激しい温度変化によるクラックの発生が確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件