【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23TT0030
利用課題名 / Title
中赤外イメージ伝送用光ファイバの分解能評価
利用した実施機関 / Support Institute
豊田工業大学 / Toyota Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ZnSe光学窓,光導波路/ Optical waveguide,光デバイス/ Optical Device,スパッタリング/ Sputtering,光学顕微鏡/ Optical microscope,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鈴木 健伸
所属名 / Affiliation
豊田工業大学 大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
中谷 明日佳
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
佐々木 実,大槻 浩
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TT-005：マスクレス露光装置
TT-006：マスクアライナ装置
TT-001：スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
我々のグループでは中赤外イメージ伝送用光ファイバに関する研究を行っている。我々がこれまでに作製した中赤外イメージ伝送用光ファイバの分解能を評価をするために、ZnSe光学窓上にCr膜微細スリットパターンを形成した分解能テストターゲットの作製を技術代行により依頼した。ZnSe光学窓は波長0.6 μmから16 μmにおいて透明性があり、今回作製した分解能テストターゲットにより中赤外イメージ伝送用光ファイバの分解能を評価することが可能になった。
実験 / Experimental
はじめに、マスクレス露光装置により微細スリットパターン形成用のフォトマスクを作製した。次に、フォトマスクを用いたリフトオフにより市販のZnSe光学窓（Edmund Optics, #58-507）上にCr蒸着による微細スリットパターンを形成した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1に今回作製した分解能テストターゲットを示す。Fig. 1b上のそれぞれの数字（μm）はその下部のパターンのスリット幅と間隔を示している。Cr蒸着膜の境界ははっきりとしており、また、ZnSe光学窓の透明性も失なわれていないため、中赤外イメージ伝送用光ファイバの分解能を評価するために使用可能であると判断できる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 Images of the fabricated ZnSe resolution test target.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Asuka Nakatani, Morio Matsumoto, Goichi Sakai, Takenobu Suzuki, Yasutake Ohishi, "High-resolution mid-infrared image transport by a chalcogenide multi-core fiber", 論文投稿中
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件