【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.08】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23BA0054
利用課題名 / Title
SUS304上に形成したCrパターンの膜厚分布測定
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
段差計, SUS304, Cr微細パターン
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
高橋 純一
所属名 / Affiliation
株式会社メルテック
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
SUS304上に作製したCr微細パターンについて、触針段差計を使用してSUS304面内の膜厚分布を調査することで品質の現状把握をおこなった。
実験 / Experimental
・パターンそれぞれの所定箇所について触針段差計を用いて段差測定し、複数の線幅の異なるパターンについて、それぞれ膜厚データを得た。・測定時のプロファイルデータを取得し、面内で得られたそれぞれの箇所でのおおまかなCr形状を比較した。
結果と考察 / Results and Discussion
・膜厚について想定のスペックを大きく逸脱するものはないことが確認できた。全点での数値の把握ができたため品質保証データとして採用する予定。・本データを基準として、成膜条件での形状や厚みの変化について、今後の検討も可能になる見込み。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本データの取得にあたりまして数理物質系技術室/谷川俊太郎先生、俵妙様のご尽力を賜りました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件