【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.17】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23TU0095

利用課題名 / Title

メンブレン積層構造の構造解析

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions

キーワード / Keywords

薄膜物性, 電子・磁気デバイス, 各種センサー, 機能材料, セラミックス, 無機化合物,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

塩貝 純一

所属名 / Affiliation

大阪大学 理学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

伊藤俊,竹中佳生

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-504：超高分解能透過電子顕微鏡
TU-508：集束イオンビーム加工装置
TU-507：集束イオンビーム加工装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

真空薄膜技術・エッチング法・転写法を用いたフリースタンディングメンブレンの積層技術の確立のため、エピタキシャル薄膜およびフリースタンディングなメンブレンの構造評価を行う必要が生じた。そのためにFIB等を用いた断面サンプルを作製し、また収差補正電子顕微鏡を用いた構造解析を行った。

実験 / Experimental

メンブレン断面試料に対して、走査型透過電子顕微鏡（STEM）モードを用いて高角度環状検出器暗視野像（High angle annular detector dark field, HAADF）、中程度の検出器を用いた像（Large angle, LAADF）、および明視野像（BF）観察を行うとともに、元素分布等に関する情報を得るために特性X線をもちいたマッピングを行った。

結果と考察 / Results and Discussion

図１に典型的なSTEM明視野観察の結果を示す。今回の装置利用により広い領域にわたって均一性の高いサンプルが生成していることが確認できた。今後、この手法を異なった成分系と新しいプロセッシングに応用することにより、さらに高品質のメンブレン合成を得るための指針を得ることができた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１　メンブレン薄膜のSTEM明視野像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

1. Ryuji Atsumi, Impact of epitaxial strain relaxation on ferromagnetism in a freestanding La_{2 / 3}Sr_{1 / 3}MnO₃ membrane, Japanese Journal of Applied Physics, 62, 100902(2023).
   DOI: doi.org/10.35848/1347-4065/ad0270
   

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件