【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23TU0064
利用課題名 / Title
ガスアトマイズにより作製した金属粉末の微細組織観察
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
ガスアトマイズ, 過飽和固溶体,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
佐藤 充孝
所属名 / Affiliation
東北大学 金属材料研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹中佳生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-508：集束イオンビーム加工装置
TU-507：集束イオンビーム加工装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガスアトマイズにより作製したCu合金粉末中の微細析出物をTEMにより観察するために、集束イオンビーム加工装置（FIB）により薄片試料を作製する。
実験 / Experimental
FIBを用い、図1に示すようにカーボンテープ上に塗布した合金粉末の中から平均的な粒子サイズ(およそ9 µｍ)の粒子を選択し、TEM観察に適した薄片試料を作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
厚さ1 µm程度の薄片を試料から切り出してTEMグリッドへ固定した後、加速電圧を30 kVから5 kVまで徐々におとし、またビーム照射角度を調整しながら薄片化することで、4水準のCu合金粉末のいずれも図2に示すように、粉末の最表面から中心付近まで厚さ100 nm程度でほぼ均一なTEM観察に適した薄片化に成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 目的粒子の加工領域の表面保護後の写真
図2 薄片化後
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
-
Mitsutaka SATO, Fabrication of Oxide Dispersion Strengthened Copper Alloy Powders by Atmosphere-Controlled Gas Atomization, Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy, 71, 467-473(2024).
DOI: 10.2497/jjspm.23-00017
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- “雰囲気制御ガスアトマイズによるヒートシンク用Cu合金粉末の作製”, 佐藤 充孝,嶋田 雄介,池田 賢一,菱沼 良光, 日本銅学会 第63回講演大会, 名古屋市, 2023.11.04.
- “雰囲気制御ガスアトマイズ法による酸素固溶Cu合金粉末の作製と時効挙動”, 佐藤 充孝,遠藤 嵩英,菅原 孝昌,嶋田 雄介, 正橋 直哉, 粉体粉末冶金協会 第131回講演大会, 早稲田大学, 2023.06.08.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件